三氟化氮对人体的危害有哪些？三氟化氮是低毒物质，但对眼睛、皮肤和呼吸道粘膜有强烈刺激作用，并腐蚀组织。吸入高浓度NF3会导致头痛、呕吐和腹泻。长期吸入低浓度NF3会损伤牙齿和骨骼，引起牙齿黄斑变性和骨骼畸形。
三氟化氮的应用场合有哪些？目前而言，三氟化氮NF3主要用作电子工业中化学气相沉积的等离子蚀刻剂和清洗剂。
三氟化氮(NF3)是微电子工业中优良的等离子体刻蚀气体，但也是一种低毒物质，是一种对人体危害极大的电子特种气体。能强烈刺激眼睛、皮肤和呼吸道粘膜，腐蚀组织。长期吸入高浓度NF3会导致头痛、呕吐和腹泻。长期吸入低浓度NF3会损伤牙齿和骨骼，引起牙齿黄斑变性和骨骼畸形。具有强氧化性。能与还原剂发生强烈反应，引起燃烧和爆炸。接触易燃物质(如苯)和有机物(如糖、纤维素等。)会引起剧烈反应，甚至引起燃烧。为了安全起见，在有三氟化氮存在的地方，应设置三氟化氮探测器进行在线监测。
三氟化氮的用途：
三氟化氮的主要用途是用作氟化氢-氟化物气体高能化学激光器的氟源，h2-O2与F2反应能量的有效部分(约25%)可以通过激光辐射释放出来。HF-OF激光器是化学激光器中最有前途的激光器。三氟化氮是微电子工业中优良的等离子体蚀刻气体。在刻蚀硅和氮化硅时，三氟化氮比四氟化碳和四氟化碳与氧气的混合气体具有更高的刻蚀速率和选择性，并且对表面无污染。特别是在厚度小于1.5微米的集成电路材料的刻蚀中，三氟化氮具有优异的刻蚀速率和选择性，不会在刻蚀表面留下残留物，也是非常好的清洗剂。随着纳米技术的发展和电子工业的大规模发展，其需求量将与日俱增。
三氟化氮的危害：
三氟化氮是低毒物质，但对眼睛、皮肤和呼吸道粘膜有强烈刺激作用，并腐蚀组织。吸入高浓度NF3会导致头痛、呕吐和腹泻。长期吸入低浓度NF3会损伤牙齿和骨骼，引起牙齿黄斑变性和骨骼畸形。具有强氧化性。它能与还原剂发生强烈反应，引起燃烧和爆炸。接触易燃物质(如苯)和有机物(如糖、纤维素等。)会引起剧烈反应，甚至引起燃烧。高温导致严重分解甚至爆炸。大鼠在吸入1000ppm l后死亡，但出现高铁血红蛋白血症。大鼠吸入10000 ppm L死亡，服药后4小时2500ppm死亡。最高允许浓度:10ppm(29mg/m3)。
三氟化氮在室温下是一种无色、无味、稳定的气体，是一种强氧化剂。作为微电子工业中优良的等离子体刻蚀气体，三氟化氮在离子刻蚀过程中裂解成活性氟离子。这些氟离子用于硅和钨化合物。高纯三氟化氮具有优异的蚀刻速率和选择性(对于氧化硅和硅)。它在蚀刻过程中不会在蚀刻表面留下残留物，是一种非常好的清洁剂。同时，在芯片制造和高能激光器中得到了广泛的应用。
以采用进口高精度气体传感器的ERUN-PG51NF3
固定在线式三氟化氮检测报警仪为例，可以同时检测并显示三氟化氮NF3的浓度值，超标声光报警，并联锁自动控制排气风机的启停，测量数据结果可通过分线制4-20 mA模拟信号量或总线制RS 485（Modbus RTU）数字量信号以及无线模式传输，通过ERUN-PG36E气体报警控制器在值班室实时显示三氟化氮的浓度值，并相应的触发报警动作。
固定式三氟化氮泄漏检测仪技术参数：
产品型号：ERUN-PG51NF3
检测气体：三氟化氮NF3
量程分辨率：
NF3：0-50ppm、0.01ppm、进口高精度电化学原理传感器
或
NF3：0-1000ppm、0.1ppm、进口高精度电化学原理传感器
精度误差：≤±2%F.S.（更高精度可订制）
显示方式：报警器1.7寸彩屏现场显示浓度值；控制器主机9寸彩屏值班室显示浓度值
报警方式：现场声光报警，值班室声光报警
数据传输：4-20mA、RS485，可选无线传输
防护功能：IP65级防水防尘
防爆功能：隔爆型，Ex d ⅡC T6 Gb级防爆
以上就是关于
三氟化氮对人体的危害有哪些的相关介绍，三氟化氮，化学式是NF3，在常温常压状态下是一种无色透明气体，属于对人体有毒有害的气体，其主要危害是由于呼吸道吸入而中毒，能强烈刺激眼睛、皮肤和呼吸道黏膜，腐蚀器官。至于
三氟化氮的应用场合有哪些这一问题，现阶段三氟化氮主要作为等离子蚀刻剂用于微电子工业，也可当做高能燃料使用。
